Таблица 9.2. Периодичность испытаний чистого помещения на соответствие его классу

Контролируемый параметр

Класс чистоты

Максимальный период времени

Соответствне по концентрации частиц

< ISO 5

6 месяцев

> ISO 5

12 месяцев

Дополнительные испытания

Скорость воздуха или объемный расход

все классы

12 месяцев

Перепад давления воздуха

все классы

12 месяцев

Необязательные испытания:

Контроль течей установленных фильтров

все классы

24 месяца

Контроль движения воздуха внутри чистого помещения

все классы

24 месяца

Восстановление характеристик после кратковременного загрязнения

все классы

24 месяца

Контроль течей через ограждающие конструкции

все классы

24 месяца

Стандарт ISO 14644-2 задает максимальный период времени, в течение которого разрешена эксплуатация чистого помещения до проведения следующих испытаний на соответствие его классу чистоты по стандарту ISO 14644-1. Величины этих максимальных интервалов приводятся в таблице 9.2 вместе с соответствующими типами испытаний. Единственным обязательным измерением, которое надо проводить с целью подтверждения соответствия чистого помещения стандарту ISO 14644-1, является контроль концентрации частиц. Максимальный период времени между такими измерениями составляет 6 месяцев для чистых помещений пятого и более высоких классов чистоты по стандарту ISO и 12 месяцев для чистых помещений более низких классов. Измерения концентрации частиц обычно проводятся в «оснащенном» состоянии чистого помещения, но могут быть проведены и в «функционирующем» состоянии. Если в чистом помещении установлена система постоянного или периодического мониторинга концентрации частиц и перепада давления воздуха, то стандарт ISO 14644-2 допускает увеличение интервалов между испытаниями.

В случае необходимости, определяемой спецификой проводимых в чистом помещении операций, для подтверждения соответствия классу чистоты возможно проведение так называемых «дополнительных» испытаний. Это измерения объемного расхода или линейной скорости воздуха, а также перепада давления. Максимально допустимый интервал между измерениями в этом случае составляет 12 месяцев, хотя при использовании постоянного или периодического мониторинга он может быть увеличен.

Стандарт ISO 14644-2 также допускает проведение «необязательных» испытаний по соглашению между заказчиком и подрядчиком. Для таких измерений установлен максимальный период в 24 месяца. Однако в данном случае это только рекомендуемые интервалы. В результате таких испытаний требуется подтвердить:

•    Правильность установки фильтров.

•    Правильность движения воздуха в пределах чистого помещения по результатам визуализации воздушного потока.

•    Эффективность удаления загрязнений по результатам теста на восстановление характеристик чистого помещения после кратковременного загрязнения.

•    Правильность направления движения воздуха в комплексе чистых помещений (от чистого участка к менее чистому).

Все перечисленные выше тесты рассматриваются в последующих главах этой книги.

9.5 Мониторинг чистых помещений

Периодичность и типы испытаний, проводимых с целью подтверждения соответствия чистого помещения требованиям стандарта ISO 14644-1, задаются стандартом ISO 14644-2. В чистых, помещениях высокого класса, где уровень чистоты - основной показатель жизнеспособности технологического процесса, могут понадобиться дополнительные измерения или мониторинг. Их результаты должны подтверждать, что в процессе производства в чистом помещении поддерживаются требуемые параметры чистоты и что они находятся под контролем. Стандарт ISO 14644-2 предусматривает, что пользователь должен принимать решение о целесообразности мониторинга и периодичности измерений на базе оценки степени риска.


⇐ назад к прежней странице | | перейти на следующую страницу ⇒