Рис. 12.5. Генератор конденсационного масляного тумана

12.2.3 Аэрозоли полистирольного глобулированного латекса

В некоторых случаях, например, в чистых помещениях для производства полупроводников, рекомендуется использовать инертные тестовые частицы. Это делается для того, чтобы не допустить возможность выделения из тестовых аэрозолей, осевших внутри фильтра при проведении его испытаний, химических веществ, представляющих опасность для технологического процесса. Обычно в таких случаях в качестве тестового аэрозоля используют наружный атмосферный воздух, однако в настоящее время существует и альтернативный вариант - сферические (глобулированные) частицы полистирольного латекса (Polystyrene Latex Spheres - PLS). Выпускаются суспензии, содержащие моно-дисперсные латексные частицы широкого диапазона диаметров - от 0,1 до 1 мкм, что обеспечивает свободный выбор нужных размеров. Эти суспензии переводят в аэрозольную форму распылением, а измерения проводят с помощью счетчика частиц.

12.3 Приборы для измерения проскока аэрозолей

12.3.1 Фотометр

Типичный аэрозольный фотометр имеет скорость пробоотбора анализируемой среды 28 л/мин (1 куб.фут/мин). Частицы аэрозоля проходят через пробоотборное устройство и измерительный объём, в который направляется свет от источника излучения. Свет, рассеянный частицами, собирается системой линз и направляется на фотоумножитель, который преобразует световой сигнал в электрический.

Фотометры обычно измеряют концентрацию частиц в диапазоне от

0,0001 мкг/л до 100 мкг/л. Показания таких приборов зависят не только от количества частиц, но и от их размера, т.е. от их массы. Внешний вид типичного фотометра показан на рис. 12.6.

Рис. 12.6. Типичный фотометр

Преимуществом фотометра перед счетчиком отдельных аэрозольных частиц является удобная форма представления результатов измерений. Абсолютное значение концентрации, измеренное фотометром, можно с помощью простого щелчка переключателя принять за 100%. После этого прибор переключается на относительную шкалу, и при проведении измерений утечек через дефекты в фильтре звуковой предупредительный сигнал будет включаться каждый раз, когда концентрация превысит заданную относительную величину, например, 0,01%.

12.3.2 Счетчики отдельных частиц

Счетчики отдельных частиц, которые обычно используются для подсчета количества частиц в чистом помещении и для определения их размера, можно применять и для проверки фильтров на наличие дефектов. Однако для этого счетчик частиц должен обладать способностью работать в режиме непрерывных измерений. Как правило, счетчики частиц используются в режиме отбора заданного объёма воздуха (что требует фиксированного времени работы насоса), и, следовательно, некоторые модели счетчиков могут не иметь возможности работать в постоянном режиме. При использовании счетчика частиц для проверки фильтров на наличие дефектов концентрация аэрозолей до фильтра может превысить верхнюю границу рабочего диапазона прибора, что может привести к попаданию загрязнений внутрь прибора. В таких случаях необходимо оснастить счетчик устройством для разбавления анализируемой пробы воздуха.

12.4 Методы проверки фильтров и системы их крепления

12.4.1 Методы сканирования

Прежде чем приступать к проверке целостности фильтров, необходимо подумать о противопожарной сигнализации. Дело в том, что тестовый аэрозоль, полученный с помощью генератора частиц, способен вызвать срабатывание датчиков противопожарной сигнализации, реагирующих на дым, особенно если испытания проводятся внутри чистого помещения (например, проверяются ламинарные шкафы или другие герметичные устройства). Поэтому следует проанализировать возможность и порядок отключения датчиков противопожарной сигнализации. Лучше отключить их на период проведения испытаний фильтров, чем пребывать в состоянии тревожного ожидания прибытия пожарной бригады или принимать душ в струях спринклерных распылителей.


⇐ назад к прежней странице | | перейти на следующую страницу ⇒